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靶材系列 設備及技術服務 電弧等離子噴涂
旋轉(zhuan)硅(gui)鋁(lv)靶








 技 術 參 數

成份(fen)
硅(gui)
純(chun)度(du)
≥99.99%
相對密度
z96%
電阻率
≤8Q.cm
規格-長(chang)度(Max)
4000mm
規格-寬(kuan)度(Max)
寬度(Max)13mm






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