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靶材系列 設備及技術服務 電弧等離子噴涂
硅靶



 技 術 參 數
成份
硅(gui)
純度
≥99.99%
相對密度
≥96%
電阻率
≤80.cm
規格-長度(Max)
000mm
規(gui)格(ge)-厚(hou)度(Max)
13mm

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