真空鍍膜(mo)應(ying)(ying)用(yong)(yong)是(shi)真空應(ying)(ying)用(yong)(yong)中的(de)一個大(da)(da)分(fen)支，在光學(xue)、電子學(xue)、理化儀(yi)器、包裝、機械以及表(biao)面(mian)處理技術等眾多方面(mian)有著十分(fen)廣泛的(de)應(ying)(ying)用(yong)(yong)。為了讓大(da)(da)家(jia)(jia)更詳(xiang)(xiang)細(xi)的(de)了解真空鍍膜(mo)的(de)應(ying)(ying)用(yong)(yong)，今天小編詳(xiang)(xiang)細(xi)為大(da)(da)家(jia)(jia)介(jie)紹真空鍍膜(mo)應(ying)(ying)用(yong)(yong)的(de)主要幾種方法，希望(wang)對大(da)(da)家(jia)(jia)有用(yong)(yong)！
真空鍍膜(mo)應(ying)用(yong)，簡單地理(li)解就是在真空環境下(xia)，利用(yong)蒸鍍、濺射以及隨后凝結的(de)辦法(fa)，在金屬(shu)、玻璃、陶瓷、半導體以及塑(su)料件等物(wu)體上(shang)鍍上(shang)金屬(shu)薄膜(mo)或者是覆蓋層。相(xiang)對于傳統鍍膜(mo)方式(shi)，真空鍍膜(mo)應(ying)用(yong)屬(shu)于一種(zhong)干式(shi)鍍膜(mo)，它(ta)的(de)主要方法(fa)包括(kuo)以下(xia)幾種(zhong)：
真空蒸鍍
其原理是在真空(kong)條件下，用蒸發(fa)器加熱(re)帶蒸發(fa)物質，使(shi)其氣化(hua)或(huo)升華，蒸發(fa)離子流直接射向基(ji)(ji)片，并在基(ji)(ji)片上沉積析出(chu)固態薄膜的(de)技(ji)術(shu)。
濺射鍍膜
濺射鍍膜是真空條件下，在陰極接上2000V高壓電，激發輝光放(fang)電，帶正(zheng)電的(de)氬(ya)離子撞擊陰極，使其射出(chu)原(yuan)子，濺射出(chu)的(de)原(yuan)子通過惰(duo)性氣(qi)氛沉積到(dao)基片(pian)上形成膜層。
離子鍍膜
即干式螺桿真空(kong)泵廠家已經介紹過的真空(kong)離子鍍膜(mo)。它(ta)是在(zai)(zai)上面兩種真空(kong)鍍膜(mo)技術基礎上發(fa)展而來的，因此兼有兩者(zhe)的工(gong)藝特(te)點。在(zai)(zai)真空(kong)條件下(xia)，利(li)用氣(qi)體放電使工(gong)作(zuo)氣(qi)體或被蒸發(fa)物質(zhi)（膜(mo)材）部分離化，并在(zai)(zai)離子轟(hong)擊下(xia)，將蒸發(fa)物或其反應物沉(chen)積在(zai)(zai)基片(pian)表面。在(zai)(zai)膜(mo)的形成(cheng)過程(cheng)中，基片(pian)始(shi)終受到高(gao)能(neng)粒子的轟(hong)擊，十(shi)分清潔。
真空卷繞鍍膜
真空卷(juan)繞鍍膜(mo)是一種利用物理氣(qi)相沉積的(de)(de)(de)方法在柔性基體(ti)上連(lian)續鍍膜(mo)的(de)(de)(de)技術，以實(shi)現柔性基體(ti)的(de)(de)(de)一些功能性、裝(zhuang)飾性屬(shu)性。
上述四種都(dou)屬于物理(li)氣相沉積(ji)技術應用(yong)（PVD）。
接下來是(shi)化(hua)學(xue)氣相沉積（CVD）。它(ta)是(shi)以化(hua)學(xue)反(fan)應(ying)(ying)的(de)方(fang)式制(zhi)作薄膜，原理(li)是(shi)一定溫度下，將含有制(zhi)膜材料的(de)反(fan)應(ying)(ying)氣體通到基(ji)片上(shang)并被吸附，在基(ji)片上(shang)產生化(hua)學(xue)反(fan)應(ying)(ying)形(xing)成核，隨后(hou)反(fan)應(ying)(ying)生成物脫離基(ji)片表面不斷擴散形(xing)成薄膜。
束(shu)流(liu)沉(chen)積鍍，結合(he)了離子(zi)注入與氣相沉(chen)積鍍膜技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)離子(zi)表面復合(he)處理技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)，是(shi)一種利(li)用離化的(de)(de)粒子(zi)作為蒸鍍材料，在(zai)比(bi)較低的(de)(de)基片溫(wen)度下，形成具有良好特性薄膜的(de)(de)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)。
